1. 化工设备

储罐/反应釜：

浓硫酸储罐提供钢衬四氟内衬，使用寿命从2年延长至10年，年维护成本降低70%。

管道/阀门：

DN200盐酸输送管道采用PFA内衬，耐受120℃热酸，杜绝泄漏风险。

2. 半导体设备

湿法工艺槽：

12英寸晶圆清洗槽内衬，耐氢氟酸/SC1溶液，颗粒释放量＜5pcs/mL。

高纯水系统：

UPW超纯水储罐PFA内衬，TOC析出＜0.1ppb，满足G5级水质要求。